2026.9.12 - 2026.9.13 南北共链，芯动沈阳第二届北方芯谷生态伙伴大会LS电气以硬核自动化之力，深度融入北方芯谷生态链 秋意初显，浑河之畔再迎“芯”潮涌动9月12日，备受瞩目的2026第二届北方芯谷生态伙伴大会暨东北亚半导体装备、零部件、材料展（NAS展） 在沈阳浑河外滩赛艇中心盛大启幕。本次大会以“南北共链，芯动沈阳”为主题，汇聚了政府领导、行业权威专家、国内晶圆厂代表、半导体

9月12日，备受瞩目的2026第二届北方芯谷生态伙伴大会暨东北亚半导体装备、零部件、材料展（NAS展） 在沈阳浑河外滩赛艇中心盛大启幕。本次大会以“南北共链，芯动沈阳”为主题，汇聚了政府领导、行业权威专家、国内晶圆厂代表、半导体装备及零部件企业、科研院所及投资机构等300余位嘉宾，参展及参会企业近600家，规模较首届实现翻倍增长。

在这场关乎中国半导体产业自主可控与区域协同的盛会上，LS电气作为深耕工业自动化半个世纪的领军企业，以及北方芯谷生态链的重要成员公司，受邀深度参与，与拓荆科技、芯源微、富创精密，沈科仪，新松半导体，和研科技等链主企业及数百家生态伙伴共话“芯”未来，展现了赋能北方半导体产业升级的权威实力与坚定决心。

权威亮相 以“芯”技术响应南北共链强音

会议现场本届大会不仅是展示的窗口，更是产业链上下游精准对接、协同攻关的实战平台。正如沈阳高新区管委会副主任张贵勇先生在大会上所言，江苏的晶圆制造与封测优势与辽宁的半导体装备、核心零部件优势互为应用场景，正加速半导体产业国产替代进程。

在这一“南北共链”的战略背景下，LS电气作为连接高端装备与智能制造的关键纽带，技术权威性在本次展会上得到了充分彰显。在NAS展的专业展区，LS电气重点展示了面向半导体制造全流程的核心产品矩阵，涵盖半导体制程专用电机、伺服驱动系统、安全控制方案及精密流量计等，以系统化、高可靠性的自动化解决方案，回应半导体装备对高洁净度、高精度、高稳定性的严苛要求。

精准驱动，洁净可靠

在晶圆传输、涂胶显影、清洗等关键工艺环节，电机的性能直接决定设备的效率与良率，LS电气展示了四款专为半导体场景打造的电机产品：

• SPINNER电机：面向高速旋转工艺，转速可达5000~8000rpm，具备瞬时加速能力，采用低磨损磁性回路设计与磁流体密封，强化内环境洁净度，适配涂胶显影、清洗等对洁净度要求极高的工序。
• 中空轴电机：通过中空轴结构减少体积与重量，节省设计空间，减少部件数量，实现一体多用，有效降低设备成本，便于集成。
• DD马达：尺寸最小化，易于安装；搭载高分辨率反射式光学编码器，适用于低速、大扭矩、高精度运行场景，灵活兼容各类驱动器，中空轴形状设计便于接线布局。
• 一体化伺服电机：PEGA2系列集电机与驱动器于一体，结构更紧凑；具备IP67防护等级，内置STO安全输入，支持EtherCAT实时精准控制（23bit绝对值反馈），为半导体设备提供高集成度的驱动方案。

 高速通信，精准响应

半导体设备对运动控制的同步性与响应速度要求极高，LS电气展示了完整的伺服驱动与步进系统：

• L7系列伺服：功率覆盖 0.1~15kW，支持脉冲&总线型伺服驱动器，可灵活适配各类电机，具备驱动保护与报警功能。
• 多轴伺服驱动器：iX7M系列支持4轴控制，紧凑单元设计使相同轴数尺寸缩减40%；基于EtherCAT通信，支持125μs同步通信周期，满足半导体设备高速、高精度的多轴协同需求。
• 步进系统：提供开环/闭环步进系统，适配多种通讯协议，无增益调整、无振荡，具备高分辨率、快速响应、低发热特性，有效提升扭矩输出。
• 流量计：支持瞬时及积算Flow Meter（ml/min），通过超声波波形分析实现精密测量，对因药液及温度变化产生的误差自动补正，并以Serial Comm.提供应用技术与维护软件工具，适用于半导体湿法清洗工艺中的药液精准计量。

 生态共建 从参与者到重要成员的进阶

LS电气展区01从首度亮相，到深度嵌入去年此时，LS电气作为首届北方芯谷大会的受邀伙伴，在沈阳浑河之畔展示了在自动化领域的创新成果。时隔一年，LS电气带着更完整的产品矩阵与更清晰的产业理解再度赴约，从首届的受邀参与者，稳步进阶为北方芯谷生态链中不可或缺的重要成员。

这一进阶并非偶然，LS电气在半导体领域的核心产品，早已不是“首次登场”的新面孔，SPINNER电机、DD马达、中空轴电机、一体化伺服电机等半导体专用电机，以及L7系列伺服、多轴伺服驱动器、步进系统、流量计等运动控制产品，已在多家半导体设备厂商的晶圆传输、涂胶显影、清洗、刻蚀、CMP抛光等关键环节中实现成熟应用。多年积累的现场验证与工艺理解，让LS电气对半导体制造的真实痛点有着切身的把握。

方案升级，更全更专更贴合

基于这些成熟案例，LS电气在本届大会上带来了更新、更全面的半导体自动化解决方案，从单一产品扩展到“电机+驱动+控制+安全”的系统化配置，从标准品供应延伸到面向具体工艺场景的定制化适配。无论是高速旋转工艺对洁净密封的严苛要求，还是低速大扭矩场景对精度的极致追求，抑或整线安全逻辑对功能安全认证的硬性门槛，LS电气都能以经过验证的产品组合给出可靠答案。

链上对接：以稳定控制层，助力本土装备竞争力

权威性不仅源于技术与案例，更源于对产业生态的深度融入。大会期间，拓荆科技、芯源微、和研科技等链主企业现场发布了采购需求，供需双方面对面洽谈对接。LS电气凭借在工业自动化领域多年的技术积淀与全球化服务经验，积极对接本地装备制造需求，致力于通过稳定可靠的控制层产品与经过验证的自动化方案，帮助本土半导体设备厂商提升设备的稳定性与良率，从而为北方芯谷装备产业集群的整体竞争力提供扎实的底层支

进阶之路：从首届受邀到持续深耕

从首届大会的受邀参会，到本届的深度融入，LS电气始终是北方芯谷生态链中的重要成员。这种身份的延续，靠的不是口号，而是一台台电机、一套套伺服、一个个安全模块在真实产线场景中的稳定表现。LS电气正以实际行动，持续参与北方芯谷的生态建设，与产业链伙伴共同推动从产业集聚走向生态繁荣。